Tóm tắt: Để cải thiện độ chọn lọc cũng như tăng cường độ đáp ứng khí của vật liệu màng mỏng ôxít kim loại bán dẫn, người ta đã sử dụng phương pháp biến tính bề mặt màng mỏng bao gồm biến tính bề mặt sử dụng các kim loại quý hoặc các ôxít bán dẫn khác. Việc biến tính hoặc pha tạp có thể được thực hiện bằng nhiều cách khác nhau, trong đó phương pháp biến tính bề mặt là phương pháp khá đơn giản, có thể dễ dàng thực hiện nhằm nâng cao độ đáp ứng và tính chọn lọc của cảm biến.
Phát triển năng lực nghiên cứu khoa học cho sinh viên là một trong những biện pháp quan trọng để nâng cao chất lượng đào tạo. Thông qua đề tài nghiên cứu: “Tăng cường tính chất nhạy khí của cảm biến khí trên cơ sở màng mỏng ô xít kim loại bán dẫn biến tính xúc tác kim loại”, nhóm tác giả muốn vận dụng nghiên cứu của mình vào công tác đào tạo và hướng dẫn sinh viên tham gia nghiên cứu khoa học.
Từ khóa: Cảm biến khí, biến tính bề mặt, vật liệu màng mỏng nano, ôxít kim loại.